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Piastra di lucidatura per wafer di allumina al 99,7% con foro

Breve descrizione:

Le piastre di lucidatura per wafer in allumina ad alto contenuto di allumina con fori trovano impiego nei settori dei semiconduttori, petrolifero, chimico, fotovoltaico, dei cristalli liquidi e in altri settori, ad esempio per la produzione di componenti meccanici, componenti elettronici, dischi a induzione per microonde, materiali isolanti e altri componenti, dispositivi a semiconduttore, apparecchiature per il vuoto, apparecchiature per la produzione di cristalli liquidi e altri componenti. Le ceramiche di allumina di grandi dimensioni e ad elevata purezza rivestono un'importante valenza applicativa nell'industria dello zaffiro e dei chip a semiconduttore. Rappresentano un supporto e un materiale di consumo fondamentale per la lucidatura chimico-meccanica (CMP) di wafer di zaffiro e di silicio per semiconduttori. Le ceramiche di allumina di grandi dimensioni e ad elevata purezza possono essere utilizzate anche come substrato di allumina per i display LCD.

 


Dettagli del prodotto

Caratteristiche del prodotto

Allumina ad elevata purezza, 99,7%-99,9% di allumina.

Elevata resistenza meccanica, elevata resistenza all'usura, elevato isolamento elettrico, elevata stabilità chimica, buona resistenza al calore e alla corrosione. Attualmente, l'utilizzo di dischi abrasivi in ​​ceramica per la rettifica dei wafer di silicio semiconduttore rappresenta il metodo di rettifica più avanzato e performante. Il processo di rettifica su entrambi i lati viene utilizzato per rettificare i wafer di silicio tagliati e la qualità del wafer rettificato viene migliorata ottimizzando il processo di rettifica (materiale del disco, fluido di rettifica, pressione e velocità di rettifica, ecc.). In particolare, l'utilizzo di piastre in ceramica al posto delle piastre in ghisa evita la formazione di graffi o contaminazioni sulla superficie principale del wafer, riduce l'introduzione di ioni metallici, può ridurre la successiva lavorazione del silicio, accorciare i tempi di lavorazione (corrosione), migliorare l'efficienza produttiva e ridurre le perdite di silicio durante la lavorazione, migliorando notevolmente l'utilizzo del silicio.

 

Parametri chimici/fisici

proprietà
Densità (g/cm³)

3,94-3,97

Purezza (%)

99,7-99,9

Durezza Vickers (GPa)

≥17

Resistenza alla flessione a tre punti (MPa)

440-550

Coefficiente di diffusione termica (cm²/s)

0,0968

Modulo elastico (GPa)

356

 

Specifiche del prodotto

Disco o anello in allumina ad alta purezza, diametro 850 mm, spessore 45 mm o inferiore (le dimensioni possono essere personalizzate).
Siamo inoltre in grado di produrre ceramiche di alta gamma con le seguenti specifiche:
1, 1500x600x25mm sotto la tavola lunga, striscia, tavola quadrata, foglio;
2. Guide di scorrimento inferiori a 1000x45x45 mm;
3, tubo vuoto, cilindro, tubo per vuoto elettrico, ecc. di lunghezza pari o inferiore a 500 mm, con diametro di 300~600x.
4. È possibile personalizzare una varietà di forme e specifiche di prodotti ceramici in allumina ad alta purezza.

 

Vantaggi delle ceramiche Chemshun

Possediamo i diritti di proprietà intellettuale indipendenti del processo di stampaggio autoindurente PIBM, specializzato nella produzione di componenti ceramici di alta qualità. Il nuovo processo supera i problemi di deformazione e fessurazione dei lingotti ceramici umidi di grandi dimensioni che si verificano durante la fase di preparazione, ottimizzando significativamente le prestazioni del prodotto rispetto a quelle dei componenti ceramici di grandi dimensioni realizzati con metodi tradizionali.
I dischi lucidanti in ceramica di allumina prodotti da Pingxiang Chemshun Ceramics Co., Ltd. adottano il processo di stampaggio autoindurente PIBM. L'avanzata tecnologia internazionale PIBM ha risolto con successo il problema chiave della deformazione da fessurazione dell'allumina di grande diametro. La tecnologia ceramica PIBM aprirà nuove prospettive per l'industria ceramica. Non solo produciamo dischi lucidanti in ceramica di allumina di alta qualità, ma offriamo anche altre serie di ceramiche di allumina ad alta purezza di grandi dimensioni, come substrati ceramici da 1200*500*20 mm per apparecchiature di produzione LCD, guide di trasmissione per semiconduttori, componenti per il vuoto, parti meccaniche generiche e ceramiche antiproiettile.

 

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