Che cos'è una piastra di lucidatura in ceramica di allumina ad alta purezza?

Con il rapido sviluppo dell'industria dei semiconduttori, le dimensioni del settore sono cresciute rapidamente e le apparecchiature per la produzione di semiconduttori si sono evolute in precisione e complessità. Poiché la ceramica possiede vantaggi quali elevata durezza, alto modulo elastico, elevata resistenza all'usura, elevato isolamento, resistenza alla corrosione, bassa dilatazione termica, ecc., può essere utilizzata come componente di macchine per la lucidatura del silicio, apparecchiature per il trattamento termico epitassiale/di ossidazione/diffusione, macchine per la litografia, apparecchiature di deposizione, apparecchiature per l'incisione di semiconduttori, macchine per l'impiantazione ionica e altre apparecchiature. Pertanto, la ricerca, lo sviluppo e la produzione di componenti ceramici di precisione influenzano direttamente lo sviluppo dell'industria dei semiconduttori. I requisiti tecnici per la loro realizzazione stanno diventando sempre più elevati.

Allumina ad elevata purezza, 99,7%-99,9% di allumina.
Elevata resistenza meccanica, elevata resistenza all'usura, elevato isolamento elettrico, elevata stabilità chimica, buona resistenza al calore e alla corrosione. Attualmente, l'utilizzo di dischi abrasivi in ​​ceramica per la rettifica dei wafer di silicio semiconduttore rappresenta il metodo di rettifica più avanzato e performante. Il processo di rettifica su entrambi i lati viene utilizzato per rettificare i wafer di silicio tagliati e la qualità del wafer rettificato viene migliorata ottimizzando il processo di rettifica (materiale del disco, fluido di rettifica, pressione e velocità di rettifica, ecc.). In particolare, l'utilizzo di piastre in ceramica al posto delle piastre in ghisa evita la formazione di graffi o contaminazioni sulla superficie principale del wafer, riduce l'introduzione di ioni metallici, può ridurre la successiva lavorazione del silicio, accorciare i tempi di lavorazione (corrosione), migliorare l'efficienza produttiva e ridurre le perdite di silicio durante la lavorazione, migliorando notevolmente l'utilizzo del silicio.

Piastra di lucidatura per wafer ad alto contenuto di alluminaTrova impiego nell'industria dei semiconduttori, petrolifera, chimica, fotovoltaica, dei cristalli liquidi e in altri settori, ad esempio per componenti meccanici, componenti elettronici, dischi a induzione per microonde, materiali isolanti e altri componenti, dispositivi a semiconduttore, apparecchiature per il vuoto, apparecchiature per la produzione di cristalli liquidi e altri componenti. Le ceramiche di allumina di grandi dimensioni e ad elevata purezza rivestono un'importante valenza applicativa nell'industria dello zaffiro e dei chip a semiconduttore. Sono un supporto e un materiale di consumo fondamentale per la lucidatura chimico-meccanica (CMP) di wafer di zaffiro e di silicio per semiconduttori. Le ceramiche di allumina di grandi dimensioni e ad elevata purezza possono essere utilizzate anche come substrato di allumina per i display LCD.